成立：2016年10月18日在上海注冊成立。注冊1415萬元人民幣。高新技術(shù)企業(yè)，市“專精特新”企業(yè)。目前團隊200+人。研發(fā)團隊和知識產(chǎn)權(quán)：研發(fā)團隊50人；自有知識產(chǎn)權(quán)體系（已申請專利57件（其中發(fā)明專利26項），已獲授權(quán)35項（其中中國發(fā)明專利7項，美國專利1項）。產(chǎn)品：設(shè)備關(guān)鍵零部件-刻蝕機專用熒光光纖溫度傳感器、高精度溫度傳感器探頭、擴散爐管Inner TC，溫濕度傳感器；晶圓測試傳感器—晶圓測溫系統(tǒng)、無線多物理量晶圓傳感器、腔體清潔晶圓等。產(chǎn)品應(yīng)用于光刻、干刻、薄膜、測試、封測等制程。資質(zhì)：國家高新技術(shù)企業(yè)（2025年擬申請國家級專精特新小巨人企業(yè)）科技部攻關(guān)項目承擔單位；上海市科委兩項研發(fā)項目承擔單位上海市揭榜掛帥項目承擔單位；2024年申請經(jīng)信委“高質(zhì)量”項目上海市科技小巨人（培育）企業(yè)，浦東新區(qū)區(qū)級企業(yè)研發(fā)中心。