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一、崗位職責(zé) 1、 設(shè)計(jì)與開發(fā)： （1）根據(jù)半導(dǎo)體設(shè)備的具體工藝需求和真空腔室要求，設(shè)計(jì)新型真空閥門（如角閥、擺閥、蝶閥等）或改進(jìn)現(xiàn)有設(shè)計(jì)。 （2）進(jìn)行詳細(xì)的機(jī)械設(shè)計(jì)，包括結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)、密封設(shè)計(jì)（金屬密封、彈性體密封）、材料選擇（需考慮超高真空兼容性、耐腐蝕性、低放氣性、無磁性等）。 （3）利用CAD軟件進(jìn)行3D建模和2D工程圖紙繪制。 （4）進(jìn)行公差分析、應(yīng)力分析（靜力學(xué)、動(dòng)力學(xué)）、熱變形分析、模態(tài)分析等，確保設(shè)計(jì)的可靠性和性能。 （5） 設(shè)計(jì)或選擇與閥門配套的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)（氣動(dòng)、電動(dòng)、壓電等）、反饋傳感器（位置、力）和連接部件。 2、 分析與仿真： （1）運(yùn)用有限元分析工具進(jìn)行結(jié)構(gòu)強(qiáng)度、剛度、疲勞壽命、熱應(yīng)力、振動(dòng)等仿真分析。 （2） 進(jìn)行流體動(dòng)力學(xué)分析，優(yōu)化閥門流導(dǎo)、減少氣流擾動(dòng)和顆粒產(chǎn)生。 （3） 參與或主導(dǎo)閥門開關(guān)動(dòng)態(tài)特性（速度、沖擊、平穩(wěn)性）的仿真與優(yōu)化。 3、 性能測(cè)試： （1）搭建測(cè)試平臺(tái)，制定詳細(xì)的測(cè)試計(jì)劃（包括功能測(cè)試、性能測(cè)試、壽命測(cè)試、環(huán)境測(cè)試）。 （2） 執(zhí)行真空閥門的關(guān)鍵性能測(cè)試：真空性能、密封性能、運(yùn)動(dòng)性能、耐久性/壽命、循環(huán)壽命測(cè)試等。 二、任職要求 1、碩士及以上學(xué)歷，機(jī)械設(shè)計(jì)、精密儀器、機(jī)電一體化、材料科學(xué)與工程或相關(guān)專業(yè)； 扎實(shí)的工程力學(xué)（靜力學(xué)、動(dòng)力學(xué)、材料力學(xué)）、機(jī)械原理、機(jī)械設(shè)計(jì)、公差分析基礎(chǔ)。 2、熟練使用至少一款主流3D CAD軟件（SolidWorks, Creo (Pro/E), CATIA, NX），能獨(dú)立完成復(fù)雜裝配體設(shè)計(jì)和工程圖紙繪制。 3、 熟練使用ANSYS, Abaqus, COMSOL或類似工具進(jìn)行結(jié)構(gòu)應(yīng)力、熱變形、模態(tài)分析的經(jīng)驗(yàn)。 4、 熟悉傳動(dòng)機(jī)構(gòu)、運(yùn)動(dòng)學(xué)設(shè)計(jì)、密封結(jié)構(gòu)（金屬/彈性體）、軸承選型、材料選擇與熱處理工藝。 5、3~5年以上精密機(jī)械設(shè)計(jì)、真空設(shè)備或半導(dǎo)體設(shè)備關(guān)鍵部件開發(fā)經(jīng)驗(yàn)； 有真空閥門的設(shè)計(jì)、測(cè)試、量產(chǎn)和真空技術(shù)基礎(chǔ)者優(yōu)先。