崗位職責(zé) ① 負(fù)責(zé)MEMS開關(guān)工藝過程中絕緣層膜層擊穿工藝實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證,制備適合開關(guān)需求的絕緣層膜層,滿足開關(guān)高耐壓性特點(diǎn); ② 負(fù)責(zé)MEMS開關(guān)工藝過程中犧牲層制備與調(diào)試,解決犧牲層鍍膜粘附性、均勻性等可靠性問題,調(diào)試犧牲層釋放工藝,通過DOE驗(yàn)證可靠的犧牲層釋放工藝; ③ 負(fù)責(zé)MEMS開關(guān)工藝中各膜層之間黏附層選擇,解決鍍膜質(zhì)量問題,解決膜層之間以及工藝之間的相互兼容問題; ④ 負(fù)責(zé)新膜層工藝開發(fā),如Ru、RuO2、Ta、Ta2O5等金屬及其氧化物的鍍膜調(diào)試,并應(yīng)用在MEMS開關(guān)工藝中; 任職資格 ① 微納工藝經(jīng)驗(yàn)≥5年,MEMS相關(guān)工藝經(jīng)驗(yàn)≥2年,熟悉MEMS器件制備工藝流程; ② 精通PVD、CVD各類鍍膜,可以獨(dú)立開發(fā)鍍膜recipe; ③ 碩士及以上學(xué)歷5年以上工作經(jīng)驗(yàn),微電子、機(jī)械或MEMS相關(guān)專業(yè)畢業(yè); ④ 熟悉薄膜應(yīng)力、純度、介電強(qiáng)度、XRD/AFM/SEM 分析 3、 加分項(xiàng) ① 有Ru、RuO2、Ta、Ta2O5等鍍膜經(jīng)驗(yàn); ② 有干、濕法刻蝕經(jīng)驗(yàn); ③ 熟悉各種絕緣膜層特性,有微懸臂制備工藝經(jīng)驗(yàn),有CMP經(jīng)驗(yàn);