1、主導半導體設備整機/關鍵復雜部件的真空系統(tǒng)設計,指標定義與分解,以及制定軟硬件的控制方案;
2、根據(jù)分解的指標,主導與真空系統(tǒng)相關的泵規(guī)閥等關鍵部件的選型;
3、主導真空系統(tǒng)集成方案的落地,以及真空指標測試用例的制定和評審;
4、制定真空設計規(guī)范和標準。
任職要求
1、本科及以上學歷,過程裝備與控制、凝聚態(tài)物理、真空、機械等理工科專業(yè)優(yōu)先;
2、1年以上真空系統(tǒng)設計相關開發(fā)工作經(jīng)驗優(yōu)先;
3、熟悉真空系統(tǒng)設計規(guī)范和相關的國際標準,設計流程等;
4、熟悉常用的真空獲得、真空測量等部件(泵規(guī)閥)選型應用;
5、掌握真空非標設備的組裝、集成、測試、評價分析的方法等。
6、具備超高極高真空設備使用或開發(fā)經(jīng)驗