1、參與半導(dǎo)體制造設(shè)備的機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),設(shè)計(jì)真空系統(tǒng)、溫控系統(tǒng)、振動(dòng)隔離系統(tǒng)等關(guān)鍵模塊;
2、使用CAD工具(如SolidWorks、AutoCAD、Creo)進(jìn)行3D建模和工程圖紙繪制,符合半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn);
3、開發(fā)高精度運(yùn)動(dòng)平臺(tái)(納米級(jí)定位)、機(jī)械臂或自動(dòng)化傳輸系統(tǒng),優(yōu)化其動(dòng)態(tài)性能和重復(fù)定位精度;
4、分析機(jī)械振動(dòng)、熱變形對(duì)設(shè)備精度的影響,提出改進(jìn)方案;
5、與其他部門協(xié)作,集成伺服電機(jī)、直線電機(jī)、傳感器等驅(qū)動(dòng)控制部件,并完成設(shè)備自動(dòng)化控制;
6、選擇適用于半導(dǎo)體環(huán)境的材料及表面處理工藝;
7、與供應(yīng)商協(xié)作,確保精密零件加工符合圖紙要求;
8、參與設(shè)備裝配調(diào)試,優(yōu)化裝配工藝;
9、通過(guò)FMEA識(shí)別設(shè)備潛在風(fēng)險(xiǎn),制定預(yù)防性維護(hù)計(jì)劃,參與設(shè)備升級(jí)或改造。
工作經(jīng)驗(yàn)及要求:
1、3年以上半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)經(jīng)驗(yàn);
2、熟悉半導(dǎo)體設(shè)備原理(如真空系統(tǒng)、等離子體反應(yīng)腔);
3、了解半導(dǎo)體制造工藝(薄膜沉積、光刻、蝕刻);
4、精通CAD/CAE工具(如ANSYS用于熱力學(xué)分析)。