成都奮羽電子科技有限公司（奮羽電子）位于中國四川省成都市高新區(qū)，是一家從事微波能量應(yīng)用方案設(shè)計(jì)及設(shè)備開發(fā)的高新技術(shù)企業(yè)，專注于中、大功率工業(yè)微波等離子體系統(tǒng)的研發(fā)和制造。奮羽電子的研究成果和產(chǎn)品已覆蓋微波無極紫外光源系統(tǒng)、微波射流等離子體系統(tǒng)、微波真空沉積/鍍膜系統(tǒng)等多個(gè)領(lǐng)域。在半導(dǎo)體制造裝備亟需國產(chǎn)化替代方案的背景下，專用于半導(dǎo)體器件制造過程中去膠、灰化、清洗和刻蝕等環(huán)節(jié)的微波等離子體子系統(tǒng)是奮羽電子重點(diǎn)關(guān)注的應(yīng)用方向。在充分研究現(xiàn)有同類產(chǎn)品的基礎(chǔ)上，經(jīng)過多次迭代和試驗(yàn)，奮羽電子推出了擁有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的可集成于清洗裝備的微波等離子體子系統(tǒng)，包括三個(gè)模塊：高穩(wěn)定度微波源、自動(dòng)調(diào)配器和微波等離子炬。