華睿芯材科技有限公司由北京華睿新能動力科技發(fā)展有限公司與清華大學(xué)（清華控股華控技術(shù)轉(zhuǎn)移有限公司）、清華大學(xué)教授團(tuán)隊(duì)共同出資設(shè)立，注冊資本3200萬已實(shí)繳到位。公司專注于半導(dǎo)體光刻膠及其配套化學(xué)品等關(guān)鍵微電子材料的研發(fā)，半導(dǎo)體高端光刻膠的產(chǎn)業(yè)化適配，高端光刻膠的量產(chǎn)。公司定位為以科技創(chuàng)新解決光刻膠“卡脖子”難題，滿足國家半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)重大戰(zhàn)略需求，本司致力成為國際一流光刻膠創(chuàng)新技術(shù)領(lǐng)先企業(yè)。

華睿芯材科技有限公司是中國為數(shù)不多能自主全面掌握光刻膠核心原材料、配方及應(yīng)用技術(shù)的先進(jìn)光刻膠公司，公司積累已大量原創(chuàng)技術(shù)，能對生產(chǎn)光刻膠性質(zhì)進(jìn)行調(diào)控。本司能生產(chǎn)EUV光刻膠、DUV光刻膠、電子束光刻膠以及高速3D打印光刻膠，各類光刻膠性能指標(biāo)優(yōu)異，部分性能測試結(jié)果已在國際頂級期刊見刊。其中高端電子束已在國內(nèi)光電芯片龍頭企業(yè)成功進(jìn)行了流片驗(yàn)證。