崗位職責(zé):
1.構(gòu)建與設(shè)定PV2E、EP5、OVL、CD、THK、XRF、RS、XPS、OCD、AFM等量測設(shè)備的Recipe。
2.診斷并排除在線量測異常,包括生產(chǎn)線突發(fā)異常、SPC報(bào)表異常等。
3.維持與優(yōu)化設(shè)備穩(wěn)定性與可靠性。
4.操作MSA系統(tǒng)并執(zhí)行審核作業(yè)。
5.收集與解讀實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)。
6.處理PFA/TEM實(shí)驗(yàn)申請及報(bào)告解讀。
7.負(fù)責(zé)BR/PCRB申請。
任職要求:
1.3年及以上半導(dǎo)體行業(yè)工作經(jīng)驗(yàn)。
2.有量測機(jī)臺(tái)Recipe setup經(jīng)驗(yàn),熟悉PV2E、EP5、OVL/CD/Thickness/X-Ray或OCD/AFM等設(shè)備者優(yōu)先。
3.熟悉MSA系統(tǒng)、SPC與審核流程