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更新于 8月30日

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資深刻蝕工藝工程師

1.5-2.5萬·13薪

嘉興海寧市
3-5年
碩士
全職
招1人

職位描述

蝕刻工藝濕法刻蝕工藝

（一）崗位職責(zé)：
1. 刻蝕工藝開發(fā)與優(yōu)化：
· 負責(zé)干法刻蝕（如SiO2、SiN、Si、金屬等介質(zhì)/材料的刻蝕）和/或濕法刻蝕工藝的開發(fā)、調(diào)試、優(yōu)化及日常維護。
2. 生產(chǎn)技術(shù)問題解決：
· 快速診斷并解決生產(chǎn)線遇到的刻蝕相關(guān)異常和難題（如刻蝕殘留、側(cè)壁形貌差、過度刻蝕、選擇比不足、顆粒污染等）。
· 協(xié)同設(shè)備工程師處理機臺故障，優(yōu)化設(shè)備狀態(tài)以提升工藝性能。
3. 新產(chǎn)品與工藝開發(fā)：
· 支持研發(fā)部門進行新產(chǎn)品的刻蝕工藝開發(fā)與驗證，負責(zé)從研發(fā)到量產(chǎn)的工藝轉(zhuǎn)移。
4. 機臺與供應(yīng)商管理：
· 具備主流刻蝕設(shè)備（如LAM、AMAT、TEL等）的操作和維護經(jīng)驗，能協(xié)同設(shè)備工程師進行機臺狀態(tài)監(jiān)控和工藝性能匹配。
· 與設(shè)備供應(yīng)商技術(shù)支持緊密合作，推動設(shè)備硬軟件問題的解決和工藝能力的提升。
5. 技術(shù)文檔與標(biāo)準(zhǔn)化：
· 編寫和更新刻蝕工藝操作指導(dǎo)書（SOP）、設(shè)備操作規(guī)范、工藝控制計劃（Control Plan）等關(guān)鍵技術(shù)文檔。
6. 團隊協(xié)作與跨部門溝通：
· 與光刻、薄膜、擴散、集成等工藝模塊工程師緊密合作，共同解決集成問題，提升整體產(chǎn)品良率。
· 指導(dǎo)并培訓(xùn)初級工藝工程師和技術(shù)員。

（二）任職資格要求：
1.碩士及以上學(xué)歷，微電子、半導(dǎo)體物理、材料、化學(xué)、物理等相關(guān)工程專業(yè)。具備3-5年及以上半導(dǎo)體晶圓制造廠刻蝕工藝工程師經(jīng)驗。
2.具備豐富的干法刻蝕工藝經(jīng)驗，熟悉LAM、AMAT（應(yīng)用材料）、TEL（東京電子）等至少一種主流刻蝕設(shè)備平臺。
3.理解刻蝕工藝原理（物理濺射與化學(xué)反應(yīng)原理），熟悉刻蝕終點檢測（EPD）、副聚合物管理等關(guān)鍵技術(shù)。
4.具備強大的數(shù)據(jù)分析能力，能熟練使用相關(guān)軟件（如JMP, Minitab等）進行SPC分析和DOE實驗設(shè)計。
5.具備獨立解決復(fù)雜工藝問題的能力，思維清晰，有強烈的責(zé)任心和嚴謹?shù)墓ぷ鲬B(tài)度。良好的團隊溝通和協(xié)作能力。
6.有化合物半導(dǎo)體（如GaAs, InP, GaN）、SiC或MEMS刻蝕工藝經(jīng)驗者優(yōu)先。
有金屬刻蝕、高深寬比刻蝕、原子層刻蝕（ALE）等特殊刻蝕工藝經(jīng)驗者優(yōu)先。