工作職責
1.工藝研發(fā)與優(yōu)化:負責不同節(jié)點CVD工藝的研發(fā)工作,解決工藝問題,提升薄膜的性能和質量;
2.測試與改善:制定CVD工藝測試方案、設計DOE實驗并負責實施,對現(xiàn)有工藝進行改善,提升產品性能、良率及可靠性;
3.異常處理:針對機臺或工藝參數對相關工藝引起異常進行trouble shooting,找出問題根源并提供解決方案;
4.新設備物料導入驗證:對不同機臺與源物料導入進行評估驗證,與廠商合作并提出有效及時的需求;
5.量產支持:主導新工藝從研發(fā)階段向量產線的轉移與穩(wěn)定性驗證; 編寫工藝規(guī)范(Spec)、操作指南(SOP)及其他量產轉移所需文檔;
6.跨部門協(xié)作:與設備工程師、整合工程師、質量團隊密切合作,確保工藝符合產品設計需求;
任職資格
1.專業(yè)背景:材料,物理,化學,電子,微電子等相關專業(yè)本科及以上學歷
2.工作經驗:具備3年以上fab廠Dielectric CVD,PECVD,ALD,Gap-Fill CVD制程工作經驗者優(yōu)先;
3.技能要求:熟悉半導體制造基礎知識和薄膜相關制程,了解業(yè)界主流薄膜設備及其性能,熟悉設備參數和工藝參數相關性;熟悉XPS/XRD/FTIR/XRR等相關材料表征原理,熟悉JMP等DOE軟件進行正交試驗設計。
4.能力素質:具備良好的邏輯分析能力和書面表達能力,能獨立分析和處理問題,有良好的團隊協(xié)作和溝通能力,有良好英文閱讀和書寫能力。
CMP PE /EE
PVD PE /EE
DIFF PE /EE
MMT PE /EE
光刻 PE /EE
EPI PE /EE
ETCH PE /EE 都有需求